[½Åµ¿¾Æ¹æ¼Û=Lin jing zi ƯÆÄ¿ø] ³×´ú¶õµå Á¤ºÎ°¡ Áß±¹¿¡ ´ëÇÑ ¹ÝµµÃ¼ »ý»êÀåºñ ¼öÃâ Ãß°¡ Á¦ÇÑ Á¶Ä¡¸¦ ¹ßÇ¥Çß´Ù°í ·ÎÀÌÅÍ Åë½ÅÀÌ 30ÀÏ º¸µµÇß´Ù.
³×´ú¶õµå Á¤ºÎ´Â ÀÚ±¹ÀÇ ¼¼°èÀûÀÎ ¹ÝµµÃ¼ ³ë±¤Àåºñ Á¦Á¶¾÷üÀÎ ASMLÀÌ »ý»êÇÏ´Â ½ÉÀڿܼ±(DUV) ³ë±¤Àåºñ Áß±¹ ¼öÃâ ½ÂÀÎ ¿ä±¸Á¶°Ç¿¡ ´ëÇÑ »õ·Î¿î ±ÔÁ¤À» ¹ßÇ¥Çϸé¼, »õ·Î¿î ±ÔÁ¦¸¦ Áï°¢ ½ÃÇàÇÏÁö ¾Ê°í 9¿ùÂëºÎÅÍ Àû¿ëÇÒ °¡´É¼ºÀÌ ÀÖ´Ù°í ·ÎÀÌÅÍÅë½ÅÀº ÀüÇß´Ù.
ÀÌ¿¡ ¾Õ¼ ³×´ú¶õµå Á¤ºÎ´Â 2019³â ASMLÀÇ ÃÖ÷´Ü EUV ³ë±¤ÀåºñÀÇ Áß±¹ ¼öÃâÀ» ±ÝÁöÇßÀ¸¸ç, Áö³ 3¿ù¿¡´Â EUVº¸´Ù ÀÌÀü ¼¼´ë ±â¼ú Á¦Ç°À¸·Î ±×µ¿¾È ¼öÃâÀ» Çã¿ëÇß´ø DUV ³ë±¤Àåºñ¿¡ ´ëÇÑ ¼öÃâ ±ÔÁ¦µµ ¿¹°íÇÑ ¹Ù ÀÖ´Ù.
ASMLÀº ¹ÝµµÃ¼ Ĩ¿¡ ȸ·Î¸¦ »õ±â´Â ³ë±¤Àåºñ¸¦ Àü¹®À¸·Î Á¦Á¶ÇÏ´Â ¾÷ü·Î, ±¹³» ¹ÝµµÃ¼ »ý»ê ¾÷ü¸¦ Æ÷ÇÔ ´ë¸¸, ÀϺ», ¹Ì±¹ µî ¹ÝµµÃ¼ ÆÄ¿îµå¸® ¾÷ü¶ó¸é ÇʼöÀûÀÎ Àåºñ·Î, 7nm ÀÌÇÏ EUV ¿ë ³ë±¤Àåºñ¸¦ Àü ¼¼°è¿¡¼ À¯ÀÏÇÏ°Ô »ý»êÇÒ ¼ö ÀÖÀ¸¸ç, EUV º¸´Ù ÇÑ ´Ü°è ³·Àº DUV ºÐ¾ß¿¡¼µµ µ¶º¸ÀûÀÎ ¿ìÀ§¸¦ Á¡ÇÏ°í ÀÖ´Ù.
ASML Àåºñ°¡ ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷¿¡¼ Áß´ëÇÑ À§Ä¡¸¦ Â÷ÁöÇÏ°í ÀÖ´Â ¸¸Å, ¹Ì±¹Àº ¾ç¾ÈÀüÀï ¹ß¹ß ½Ã ASML Àåºñ°¡ ÀÖ´Â ´ë¸¸ tsmc °øÀåÀ» Æø°ÝÇØ¾ß ÇÑ´Ù´Â ÁÖÀåÀÌ ³ª¿À±âµµ Çß¾ú°í,
¹Ì±¹Àº µ¿¸Í±¹¿¡°Ô ´ëÁß±¹ ¼öÃâ ÅëÁ¦¿¡ µ¿ÂüÇÒ °ÍÀ» ¿ä±¸Çϸé¼, Çѱ¹¿¡°Ô Áß±¹À¸·Î ¹ÝµµÃ¼¸¦ ¼öÃâÇÏÁö ¸» °ÍÀ» °¾ÐÇß°í, ÀϺ»ÀÇ ´ÏÄÜ°ú µµÄì ÀÏ·ºÆ®·ÐÀº ¹Ì±¹ÀÇ °¾Ð¿¡ ´ÙÀ½ ´Þ 23ÀϺÎÅÍ 23Á¾ÀÇ ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶¼³ºñ¿¡ ´ëÇÑ ¼öÃâ Á¦ÇÑ¿¡ µé¾î°¥ ¿¹Á¤À̶ó°í ·ÎÀÌÅÍ Åë½ÅÀº ÀüÇß´Ù.
|
Lin jing zi ƯÆÄ¿ø ±â»ç ´õº¸±â
smspd1@naver.com